真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，系統檢漏，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，密封性系統檢漏，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩定，關閉V2

3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收，對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用，不宜過大(不超過41)，清潔泵也同樣。

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氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮：

(1)無害，不能對人體或環境造成傷害;

(2)質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

(3)化學性質穩定，不會引起化學反應和易1燃易1爆;

(4)在空氣環境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

今天科儀的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

氦質譜檢漏儀的進展

經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現在如下幾個方面：

（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，六氟化硫充氣柜真空箱系統檢漏，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，智能系統檢漏，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。

另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。