氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
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氦質譜試漏儀工作原理
氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器.其燈絲發射出來的電子在電離室內來回的振蕩,與電離室內氣體和經被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,軌道半徑
R ——離于偏轉軌道半徑(cm) B ——磁場強度(T)
M/z ——離子的質(量)/(電)荷比(正整數)
U ——離子加速電壓(V)
由上式可知,當 R、B 為定值時,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
氦氣檢漏的主要技術性能
1.真空箱尺寸根據電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯動系統,生產節拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據用戶生產工藝要求來設計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機械手或機器人,正常生產時設備無需人工操作;
5.系統配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數據對應存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,氦質譜測漏系統,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼,更改設備參數;
10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態和測試數據;
11.故障統計功能
12.系統采用配置和標準化設計制作,確保運行穩定,。
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